目前國內(nèi)生產(chǎn)高速研磨機(jī)的廠家不少，但由于研磨加工的針對(duì)性較強(qiáng)，對(duì)不同的工件，研磨加工的方法也有很大的差別。所以人們研究開發(fā)出了許多專用的研磨機(jī)。我國在八十年代研究出來第一臺(tái)PJM320型平面研磨機(jī)。曾獲得國家科學(xué)大會(huì)獎(jiǎng)。現(xiàn)在西安秦川發(fā)展有限公司生產(chǎn)的PJM320B就是以它為原型改進(jìn)的。在光學(xué)加工中研磨又稱精磨，所以研磨機(jī)也成為精磨機(jī)。目前還有南京儀機(jī)股份有限公司生產(chǎn)的PLM-400精密拋光機(jī)。以及我國臺(tái)灣高鈺精密有限公司生產(chǎn)的各種精磨機(jī)。其中平面精磨機(jī)有DL-380和CDL-600和VDL-900型號(hào)和雙面研磨機(jī)有CDL-4B-4L和CDL-6B-6L及CDL-9B-5L等型號(hào)。其中COL-380型研磨機(jī)研磨精度高，可達(dá)到的平面度為0.2um-0.5um,表面粗糙度達(dá)Ra0.1um以下，它可加工各種材質(zhì)。為提高加工效率人們研制出雙面研磨機(jī)，如蘭州東勝機(jī)械制造有限公司生產(chǎn)的DSL9B-5P型雙面研磨機(jī)，它加工出的產(chǎn)品精度為10微米級(jí)，平面度及平行度在千分之一毫米。還有深圳宏達(dá)公司生產(chǎn)的雙平面研磨機(jī)，其平行度及平面度也為千分之一毫米。球面高速研磨機(jī)按加工工件表面的曲率半徑不同，分為大球面、中球面和小球面三種：其中Q875型高速研磨機(jī)和QJM-40小球面高速精磨機(jī)和QJM-100中球高速研磨機(jī)應(yīng)用較為普遍。目前，國外高品質(zhì)的研磨機(jī)床已實(shí)現(xiàn)系列化，而且加工精度已達(dá)到很高水平。如SPEEDFAM高速平面研磨機(jī)，具有粗研磨及精研磨的廣泛研磨能力，能以短時(shí)間和低成本獲得較高的平行度、平面度、以及表面粗糙度。即使不熟練的操作人員，亦能達(dá)到尺寸公差3um、平面度0.3um、平行度3um，表面粗糙度Ra0.2um以內(nèi)的高精度加工水平。又如Takao NAKAMURA等人研制的硅片研磨機(jī)，可同時(shí)加工5片直徑為125mm的硅片，當(dāng)硅片厚度在500~515um時(shí)，經(jīng)過24~30min的拋光，尺寸可達(dá)到480um,平均材料去除率0.51~0.57um/min。隨著科技的進(jìn)步和社會(huì)的發(fā)展,人們對(duì)加工精度的要求越來越高。加工技術(shù)水平也在不斷提高，由原來的精密、超精密加工,發(fā)展到現(xiàn)在的納米級(jí)加工。納米級(jí)高效研磨加工技術(shù)主要采用固著磨料高速研磨加工方法。固著磨料高速研磨與傳統(tǒng)的散粒磨料研磨不同，其磨料的密度分布是可控的。利用固著磨料研磨的這一特點(diǎn)，根據(jù)工件磨具間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡密度分布，合理地設(shè)計(jì)磨具上磨料密度分布，以使磨具在研磨過程中所出現(xiàn)的磨損不影響磨具面型精度，從而顯著提高工件的面型精度，并且避免修整磨具的麻煩。
目前國內(nèi)外生產(chǎn)的研磨機(jī)基本上都是中大型的。對(duì)于小型便攜式高速研磨機(jī)的研究有限。而目前便攜式的研磨機(jī)只有專門維修閥門的維修機(jī)具。目前國內(nèi)外的高速研磨機(jī)的發(fā)展方向主要是進(jìn)一步提高研磨加工質(zhì)量和加工效率，提高研磨機(jī)的自動(dòng)化程度，以減輕操作者的勞動(dòng)強(qiáng)度。而對(duì)維修設(shè)備現(xiàn)場使用的便攜式研磨機(jī)還沒有人進(jìn)行研究和開發(fā)。
|
國內(nèi)外研磨機(jī)行業(yè)現(xiàn)狀淺析